Кріогенні вакуумні насоси
Кріогенні вакуумні насоси забезпечують чисте високошвидкісне відкачування всіх газів з кріогенних вакуумних камер і систем. Вони функціонують завдяки поєднанню конденсації і адсорбції газів і парів на поверхнях, що охолоджуються до дуже низьких температур. У більшості кріогенних насосів використовуються набори поверхонь (панелей), підтримуваних при двох конкретних діапазонах температур за допомогою працюючого назад-поступально механічного охолоджувача, де використовується гелій в якості холодоагенту. Гелій подається під високим тиском і кімнатній температурі дистанційним компресором і повертається в компресор при низькому тиску, але при температурі трохи вище кімнатної. Всі холодні деталі охолоджувача знаходяться в межах вакуумного середовища насоса. В результаті такого підходу створюється надійний, економічний вакуумний насос.
Вступ
У тих практичних завданнях, де виникає потреба в створенні розрідження в межах від [math]10^{-3}[/math] до [math]10^{-10}[/math] Торр, зазвичай використовується один з трьох типів насосів: масляний дифузійний насос, турбомолекулярні насоси і кріонасоси. З усіх перерахованих типів насосів, кріонасоси найбільш прості в експлуатації, забезпечують найбільш швидку відкачку. Проблема прямої залежності тиску пари від температури при застосуванні кріонасосов вирішується дуже просто і елегантно. Справа в тому, що кріонасоси не переміщують молекули газу, а заморожують їх. У зв'язку з цим у кріонасосов відсутні будь-які рухомі частини або рідкі середовища, які контактують безпосередньо з вакуумом з відкачуваного об'єму. Ця обставина повністю виключає вірогідність забруднення робочого об'єму в процесі відкачування. Кріонасосам, в процесі експлуатації, потрібно мінімальне технічне обслуговування.
Конструкція кріогенного насоса
Корпус кріонасосів, зокрема таких, як на рис. 1, являє собою вакуумну посудину з корозійностійкої сталі або алюмінію з високовакууним фланцем для установки високовакуумного клапану.
