Вакуумний насос

Загальний вигляд вакуумного насоса

Вакуумний насос (англ. vacuum pump) – це пристрій, призначений для відкачування газу чи пари з закритих ємностей для створення в них вакууму.

Класифікація

За принципом роботи всі вакуумні насоси можна поділити на такі основні типи:

• Об'ємні - використовують зміну об'єму робочої камери ;
• Молекулярні або насоси передачі імпульсу - захоплюють молекули газу рухомою поверхнею;
• Сорбційні або насоси поглинання- використовують сорбцію або конденсацію молекул газу;

Об'ємні

Поршневі

Основними робочими деталями якого є циліндр, поршень, газорозподільний пристрій та привідний механізм

• Сухі - відкачують тільки газ;
• Мокрі- можуть - можуть відкачувати суміш газу з рідиною;

Обертальні

Використовують обертальний рух спеціального приспосіблення. В залежності від конструкції ротора поділяються на:

• Масляні - з масляним ущільненням: пластинчасто-роторні, пластинчасто-статорні, золотникові(плунжерні);
• З ковзаючими пластинами;
• З рідинним поршнем (водокільцеві);
• Двороторні незмащувальні;
• Зубчасті.

Молекулярні

• Ежекторні;
• Дифузійні;

Сорбційні

• Іонні;
• Кріогенні;
• Хімічні.