Вакуумний насос

Загальний вигляд вакуумного насоса

Вакуумний насос (англ. vacuum pump) – це пристрій, призначений для відкачування газу чи пари з закритих ємностей для створення в них вакууму.

Класифікація

За принципом роботи всі вакуумні насоси можна поділити на такі основні типи:

  • Об'ємні - використовують зміну об'єму робочої камери ;
  • Молекулярні або насоси передачі імпульсу - захоплюють молекули газу рухомою поверхнею;
  • Сорбційні або насоси поглинання- використовують сорбцію або конденсацію молекул газу;

Об'ємні

Поршневі

Основними робочими деталями якого є циліндр, поршень, газорозподільний пристрій та привідний механізм

  • Сухі - відкачують тільки газ;
  • Мокрі- можуть - можуть відкачувати суміш газу з рідиною;

Обертальні

Використовують обертальний рух спеціального приспосіблення. В залежності від конструкції ротора поділяються на:

  • Масляні - з масляним ущільненням: пластинчасто-роторні, пластинчасто-статорні, золотникові(плунжерні);
  • З ковзаючими пластинами;
  • З рідинним поршнем (водокільцеві);
  • Двороторні незмащувальні;
  • Зубчасті.

Молекулярні

  • Ежекторні;
  • Дифузійні;

Сорбційні

  • Іонні;
  • Кріогенні;
  • Хімічні.