Відмінності між версіями «Молекулярний насос»
| Рядок 2: | Рядок 2: | ||
'''Молекулярний насос''' - вакуумний насос, вражаючі дія якого заснована на повідомленні молекулам відкачуваного газу додаткової швидкості при зіткненні їх з швидко обертовим (частота обертання до 90 тис. Об / хв) ротором. Розрізняють молекулярні насоси циліндричні, дискові, конічні і ін. Залишковий тиск від 10 до 10-9 Па. | '''Молекулярний насос''' - вакуумний насос, вражаючі дія якого заснована на повідомленні молекулам відкачуваного газу додаткової швидкості при зіткненні їх з швидко обертовим (частота обертання до 90 тис. Об / хв) ротором. Розрізняють молекулярні насоси циліндричні, дискові, конічні і ін. Залишковий тиск від 10 до 10-9 Па. | ||
| − | == Принцип роботи == | + | == '''Принцип роботи''' == |
Молекулярні насоси з однаковим напрямком руху газу і стінки каналу мають багато конструктивних різновидів. Насос (рис. 1) має в статорі 3 набір циліндричних канавок 4, вхідні і вихідні отвори в яких розділені перегородкою 1. Ротор 2 обертається з великою частотою так, що його лінійна швидкість близька до теплової швидкості молекул. | Молекулярні насоси з однаковим напрямком руху газу і стінки каналу мають багато конструктивних різновидів. Насос (рис. 1) має в статорі 3 набір циліндричних канавок 4, вхідні і вихідні отвори в яких розділені перегородкою 1. Ротор 2 обертається з великою частотою так, що його лінійна швидкість близька до теплової швидкості молекул. | ||
| + | |||
| + | Спіральний паз на поверхні статора 2 і циліндрична поверхня ротора 3 утворюють робочий канал (схема на рис. 1б). Спіральні канавки на торцевих поверхнях статора 1, віддалені на мінімальній відстані від диска, що обертається 2, використовуються для молекулярної відкачки в схемі рис. 1в. Через зазор між статором і ротором відбувається повернення газу з камери стискання в камеру всмоктування, що погіршує реальні характеристики насосів. Нормальна робота таких насосів можлива при зазорі між ротором і статором не перевищує 0.1 мм. | ||
| + | |||
| + | Молекулярні насоси із взаємно перпендикулярним рухом робочих поверхонь і потоку відкачуваного газу набули широкого поширення. Конструкція турбомолекулярного насоса, що використовує цей принцип, багато в чому визначається розташуванням вала ротора: горизонтальним або вертикальним, пристроєм і формою робочих органів: циліндрові, конусні, дискові з радіальним потоком, дискові з осьовим потоком, барабанні. | ||
| + | Великий вплив на характеристики насоса надає конструкція опорних вузлів: на змащуваних підшипниках кочення, на магнітних опорах або газової подушці. | ||
| + | |||
| + | == '''Переваги і недоліки''' == | ||
| + | '''Переваги''': | ||
| + | *Для початку роботи насоси вимагають мало часу. У міру досягнення передбаченого числа обертів вони вже працюють з повною продуктивністю. | ||
| + | *Пари масла не повинні сходити до складу залишкових газів. | ||
| + | *Насоси нечутливі до прориву повітря. | ||
| + | *Властивість цих насосів швидше відкачувати важкі гази, що в ряді випадків має велике значення. | ||
| + | '''Недоліки:''' | ||
| + | *У більшості конструкцій зазори в цих насосах не повинні перевищувати кілька сотих міліметра. Така точність значно здорожує насос. | ||
| + | *Наявність рухомих деталей призводить до зносу насосів. | ||
| + | *Насоси чутливі до забруднень і від попадання в них металевих або скляних частинок приходять в непридатність. | ||
| + | *Досягаються значення швидкості дії значно нижче, ніж у дифузійних насосів. | ||
| + | *Робота молекулярних насосів пов'язана зі значним шумом. | ||
Версія за 19:17, 1 червня 2016
Молекулярний насос - вакуумний насос, вражаючі дія якого заснована на повідомленні молекулам відкачуваного газу додаткової швидкості при зіткненні їх з швидко обертовим (частота обертання до 90 тис. Об / хв) ротором. Розрізняють молекулярні насоси циліндричні, дискові, конічні і ін. Залишковий тиск від 10 до 10-9 Па.
Принцип роботи
Молекулярні насоси з однаковим напрямком руху газу і стінки каналу мають багато конструктивних різновидів. Насос (рис. 1) має в статорі 3 набір циліндричних канавок 4, вхідні і вихідні отвори в яких розділені перегородкою 1. Ротор 2 обертається з великою частотою так, що його лінійна швидкість близька до теплової швидкості молекул.
Спіральний паз на поверхні статора 2 і циліндрична поверхня ротора 3 утворюють робочий канал (схема на рис. 1б). Спіральні канавки на торцевих поверхнях статора 1, віддалені на мінімальній відстані від диска, що обертається 2, використовуються для молекулярної відкачки в схемі рис. 1в. Через зазор між статором і ротором відбувається повернення газу з камери стискання в камеру всмоктування, що погіршує реальні характеристики насосів. Нормальна робота таких насосів можлива при зазорі між ротором і статором не перевищує 0.1 мм.
Молекулярні насоси із взаємно перпендикулярним рухом робочих поверхонь і потоку відкачуваного газу набули широкого поширення. Конструкція турбомолекулярного насоса, що використовує цей принцип, багато в чому визначається розташуванням вала ротора: горизонтальним або вертикальним, пристроєм і формою робочих органів: циліндрові, конусні, дискові з радіальним потоком, дискові з осьовим потоком, барабанні. Великий вплив на характеристики насоса надає конструкція опорних вузлів: на змащуваних підшипниках кочення, на магнітних опорах або газової подушці.
Переваги і недоліки
Переваги:
- Для початку роботи насоси вимагають мало часу. У міру досягнення передбаченого числа обертів вони вже працюють з повною продуктивністю.
- Пари масла не повинні сходити до складу залишкових газів.
- Насоси нечутливі до прориву повітря.
- Властивість цих насосів швидше відкачувати важкі гази, що в ряді випадків має велике значення.
Недоліки:
- У більшості конструкцій зазори в цих насосах не повинні перевищувати кілька сотих міліметра. Така точність значно здорожує насос.
- Наявність рухомих деталей призводить до зносу насосів.
- Насоси чутливі до забруднень і від попадання в них металевих або скляних частинок приходять в непридатність.
- Досягаються значення швидкості дії значно нижче, ніж у дифузійних насосів.
- Робота молекулярних насосів пов'язана зі значним шумом.
