Кріогенні вакуумні насоси - Історія редагувань

Basinger в 10:09, 18 червня 2020

2020-06-18T10:09:40Z

Basinger в 10:08, 18 червня 2020

2020-06-18T10:08:37Z

Basinger в 09:58, 18 червня 2020

2020-06-18T09:58:55Z

Basinger: Створена сторінка: Рис.1. Кріогенний вакуумний насос '''Кріогенні вакуумні насоси''' з...

2020-06-09T16:39:35Z

Створена сторінка: thumb|right|Рис.1. Кріогенний вакуумний насос '''Кріогенні вакуумні насоси''' з...

Нова сторінка

[[Файл:Рис123.png |thumb|right|Рис.1. Кріогенний вакуумний насос]]

'''Кріогенні вакуумні насоси''' забезпечують чисте високошвидкісне відкачування всіх газів з кріогенних вакуумних камер і систем. Вони функціонують завдяки поєднанню конденсації і адсорбції газів і парів на поверхнях, що охолоджуються до дуже низьких температур. У більшості кріогенних насосів використовуються набори поверхонь (панелей), підтримуваних при двох конкретних діапазонах температур за допомогою працюючого назад-поступально механічного охолоджувача, де використовується гелій в якості холодоагенту. Гелій подається під високим тиском і кімнатній температурі дистанційним компресором і повертається в компресор при низькому тиску, але при температурі трохи вище кімнатної. Всі холодні деталі охолоджувача знаходяться в межах вакуумного середовища насоса. В результаті такого підходу створюється надійний, економічний вакуумний насос.
== Вступ ==
У тих практичних завданнях, де виникає потреба в створенні розрідження в межах від <math> 10^{-3} </math> до <math> 10^{-10} </math> Торр, зазвичай використовується один з трьох типів насосів: масляний дифузійний насос, турбомолекулярні насоси і кріонасоси. З усіх перерахованих типів насосів, кріонасоси найбільш прості в експлуатації, забезпечують найбільш швидку відкачку. Проблема прямої залежності тиску пари від температури при застосуванні кріонасосов вирішується дуже просто і елегантно. Справа в тому, що кріонасоси не переміщують молекули газу, а заморожують їх. У зв'язку з цим у кріонасосов відсутні будь-які рухомі частини або рідкі середовища, які контактують безпосередньо з вакуумом з відкачуваного об'єму. Ця обставина повністю виключає вірогідність забруднення робочого об'єму в процесі відкачування. Кріонасосам, в процесі експлуатації, потрібно мінімальне технічне обслуговування.

== Конструкція кріогенного насоса ==
Корпус кріонасосів, зокрема таких, як на рис. 1, являє собою вакуумну посудину з корозійностійкої сталі або алюмінію з високовакууним фланцем для установки високовакуумного клапану.
[[Файл:Рис1234.jpg |thumb|right|Рис.2. Конструкція насоса]]

@@ Рядок 23: / Рядок 23: @@
 == Переваги в роботі кріогенних насосних установок ==
   ● Відсутність забруднень робочої речовини;
-  ● В процесі функціонування створюється вакуумна середовище, яке повністю очищене від повітряних мас;
+  ● В процесі функціонування створюється вакуумне середовище, яке повністю очищене від повітряних мас;
   ● Надійний захист від перепадів електричної енергії, що позитивно позначається на тривалості експлуатації обладнання;
   ● Автоматизований захист від поломок насосної установки.
@@ Рядок 29: / Рядок 29: @@
 == Список використаних джерел інформації ==
 - https://www.cryosystems.ru/wp-content/uploads/2010/05/Cryopumps_by-Gary-Ash_rus.pdf
 - http://mml-me.ru/kriogennyj-nasos/
 - https://leybold.ru/vakuumnie-nasosi-criogennie-coolvac-leybold.html
 - http://cialis20.ru/kriogennye-nasosy/#1

@@ Рядок 14: / Рядок 14: @@
 == Принцип роботи кріогенного насоса ==
 Устаткування знайшло широке застосування в різних галузях промисловості. Принцип роботи кріогенного насоса полягає в конденсації газових молекул на охолоджувану поверхню матеріалу.
-Обладнання складається з трьох ступенів.:
+Обладнання складається з трьох ступенів:
-  <math> \mho\</math> Перша - вхідна. У ній конденсуються молекули водяної пари, а також вуглеці. Робочий температурний режим на цій стадії становить 60-100 К.
+  ● Перша - вхідна. У ній конденсуються молекули водяної пари, а також вуглеці. Робочий температурний режим на цій стадії становить 60-100 К.
-\mho \ Друга ступінь - конденсування. У ній відбувається «захоплення» робочої речовини (азоту, аргону і іншого). Температури коливається між 10-20 К. Газові суміші, які не переходять у третю стадію, абсорбуються на активованому вугіллі.
+ ● Друга ступінь - конденсування. У ній відбувається «захоплення» робочої речовини (азоту, аргону і іншого). Температури коливається між 10-20 К. Газові суміші, які не переходять у третю стадію, абсорбуються на активованому вугіллі.
-\mho \ Третя ступінь - відкачування. На цій стадії процесу утворюються гранули вуглецю, які розташовуються з внутрішньої сторони другого ступеня.
+ ● Третя ступінь - відкачування. На цій стадії процесу утворюються гранули вуглецю, які розташовуються з внутрішньої сторони другого ступеня.
-Створення вакуумної середовища в обладнанні здійснюється за рахунок видалення газових сумішей з герметичного робочого об'єму камери. Стандартні насосні установки відкачують молекули газу за допомогою роботи установки. Кріогенні насоси заморожують молекули робочої речовини. При цьому зменшується тиск парів. Цей процес виконується до того, поки не створиться високий вакуум.
+Створення вакуумного середовища в обладнанні здійснюється за рахунок видалення газових сумішей з герметичного робочого об'єму камери. Стандартні насосні установки відкачують молекули газу за допомогою роботи установки. Кріогенні насоси заморожують молекули робочої речовини. При цьому зменшується тиск парів. Цей процес виконується до того, поки не створиться високий вакуум.

@@ Рядок 6: / Рядок 6: @@
 == Конструкція кріогенного насоса ==
-Корпус кріонасосів, зокрема таких, як на рис. 1, являє собою вакуумну посудину з корозійностійкої сталі або алюмінію з високовакууним фланцем для установки високовакуумного клапану.
+Корпус кріонасосів, зокрема таких, як на рис. 2, являє собою вакуумну посудину з корозійностійкої сталі або алюмінію з високовакууним фланцем для установки високовакуумного клапану.
-[[Файл:Рис1234.jpg |thumb|right|Рис.2. Конструкція насоса]]
+[[Файл:Рис1234.jpg|400px|thumb|right|Рис.2. Конструкція кріогенного вакуумного насоса]]