Молекулярний насос

Рис.1. Молекулярний насос

Молекулярний насос - вакуумний насос, вражаючі дія якого заснована на повідомленні молекулам відкачуваного газу додаткової швидкості при зіткненні їх з швидко обертовим (частота обертання до 90 тис. Об / хв) ротором. Розрізняють молекулярні насоси циліндричні, дискові, конічні і ін. Залишковий тиск від 10 до 10-9 Па.

Принцип роботи

Молекулярні насоси з однаковим напрямком руху газу і стінки каналу мають багато конструктивних різновидів. Насос (рис. 1) має в статорі 3 набір циліндричних канавок 4, вхідні і вихідні отвори в яких розділені перегородкою 1. Ротор 2 обертається з великою частотою так, що його лінійна швидкість близька до теплової швидкості молекул.